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nbsp; 实验数据显示，采用该方法后，镜体中碳化硅含量由46.36%提升至64.54%。团队成功制备出直径220毫米的拓扑结构碳化硅镜体，全链路尺寸变形量控制在0.5%以内，经加工后光学表面面形精度优于λ/50 RMS(λ=632.8 nm)，表面粗糙度仅为0.772 nm。(完) 【编辑:梁异】
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发布时间：18:30:34